특수 가스 캐비닛
소개
특수 가스 운반 캐비닛은 인화성, 폭발성, 부식성, 독성 및 기타 위험한 가스의 공급을 위해 설계되었습니다.
시스템은 완전 자동, 반자동 및 수동 작동 범주로 나눌 수 있습니다.기본 기능에는 자동 퍼지, 자동 전환 및 비상 상황(설정된 경보 신호가 트리거될 때)에서 자동 안전 차단이 포함됩니다.
자동 가스 탱크는 PLC에 의해 제어되고 터치 스크린은 인간-기계 인터페이스이며 장치에 설치된 압력 센서입니다.
공조 장치, 공압 밸브, 유량계 등과 같은 장치는 장비의 안전하고 효과적인 작동을 실현합니다.미터의 내부 PLC 프로그래밍 안전 연동 기능과 고순도 밸브 부품의 합리적인 선택 및 레이아웃은 반도체 공정 생산 공정의 요구 사항을 충족합니다.
매체에서 특수 가스의 지속적인 공급 및 고순도에 대한 요구 사항뿐만 아니라 공장의 정상적인 생산과 직원의 개인 생활 안전을 보장합니다.
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