특수 가스 파이프 라인에서 가스 배기를 처리하는 방법

반도체 산업의 급성장으로 인해 지원 프로젝트에 대한 요구 사항이 높아졌습니다. 특수 가스의 공급은 효과적인 시스템을 형성하지 않았으며, 지저분한 실린더, 혼돈 관리 및 호환되지 않는 가스의 혼합 문제가 더 심각하여 가스 소비의 안전에 큰 영향을 미칩니다. 그렇다면 특수 가스 파이프 라인 프로젝트에서 가스 테일 가스를 다루는 방법은 무엇입니까? 오늘날 Shenzhen Wofei Technology Co :

특수 가스 꼬리 가스 처리

건강과 환경에 대한 특수 가스는 큰 피해를 입히고, 특수 가스 꼬리 가스를 다루는 방법, 어떤 장비와 함께, 여기에 심도있는 소개가 될 것입니다.

특수 가스 꼬리 가스의 상태

꼬리 가스는 필연적으로 특수 가스 시스템의 파생물로 존재합니다. 과거에는 많은 대학에서 실험실 가스 소비가 크지 않기 때문에 건설 장치의 소유자는 테일 가스 배출 문제를 완전히 인식하지 못하고, 더 많은 반도체 공장이 발생하여 특수 가스 가스 배출이 점점 더 주목을 받고 있습니다. 그런 다음 퇴원 방법, 퇴원 방법은 많은 사용자 앞에서 문제가되었습니다.

특수 가스 시스템의 테일 가스 방출 처리 장치의 처리 방법 :

꼬리 가스 처리 장치의 유형은 처리 할 배기 가스의 특수 가스의 특성에 따라 선택되어야하며, 호환되지 않는 특수 가스는 꼬리 가스 처리 장치를 별도로 설정해야합니다.

테일 가스 처리 장치는 GR, GC 및 기타 특수 가스 장비에 가깝게 배치되어야합니다.

특수 가스의 테일 가스 처리 방법은 건식 처리 흡착, 습식 문지르기, 가열 분해 처리, 연소 처리, 혈장 분해 처리, 희석 처리 및 상기 방법의 조합을 채택해야합니다.