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1 | 최대 작동 압력 20.6 Mpa. |
2 | 최대작동 온도 204℃ (최대 454℃의 고온 환경, 이때 밀봉재는 팽창 흑연으로 대체됨) |
3 | 필터 시스템 미립자 오염 물질, 가스, 액체가 적용 가능합니다. |
4 | 스테인리스 분말 야금 소결 필터 필터 정확도 2μm~40μm |
5 | 필터 유량 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.아빠 |
6 | 필터를 변경할 수 있습니다. |
필터의 제품특징
1 | 넓은 적용 범위, 15 ~ 300SL/분의 유량 범위. |
2 | 대부분의 고순도 반도체 공정 가스와 상용성이 좋습니다. |
3 | 3 나노 입자 여과 용량은 높은 흐름 효율과 초소형 압력 강하를 유지합니다. |
4 | 5Ra 전해 연마 표면은 내부 오염을 방지할 수 있습니다. |
5 | 반도체 공정 표준을 충족하기 위해 탈이온수 후 뜨거운 질소로 굽습니다. |
6 | 1000 레벨 무진 무균 작업장 제조, 청소 및 포장 환경. |
7 | 100% 헬륨 누출 테스트. |
입구 | 콘센트 | |
1 | 1/8″ 튜브 피팅 | 1/8″ 튜브 피팅 |
2 | 1/4″ 튜브 피팅 | 1/4″ 튜브 피팅 |
3 | 3/8″ 튜브 피팅 | 3/8″ 튜브 피팅 |
4 | 1/2″ 튜브 피팅 | 1/2″ 튜브 피팅 |
5 | 6MM 튜브 피팅 | 6MM 튜브 피팅 |
6 | 8MM 튜브 피팅 | 8MM 튜브 피팅 |
7 | 10MM 튜브 피팅 | 10MM 튜브 피팅 |
8 | 12MM 튜브 피팅 | 12MM 튜브 피팅 |
9 | 1/8″ 암나사형 NPT | 1/8″ 암나사형 NPT |
10 | 1/4″ 암나사형 NPT | 1/4″ 암나사형 NPT |
11 | 1/4″ 남성 NPT | 1/4″ 남성 NPT |
12 | 3/8″ 남성 NPT | 3/8″ 남성 NPT |
13 | 1/2″ 남성 NPT | 1/2″ 남성 NPT |
필터의 제품 성능 매개변수
1 | 필터링 정확도 | ≥0.0025μm | |
2 | 여과 효율 | 제거율99.99999%≥0.0025μm | |
3 | 정격 유량 | 15L/분 | |
4 | 60L/분 | ||
5 | 120L/분 | ||
6 | 200L/분 | ||
7 | 300L/분 | ||
8 | 필터 구성 | 필터 요소 | 316L/PTFE |
9 | 주택 | 스테인레스 스틸 316L | |
10 | 근무 조건 | 최대 입구 압력 | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | 최대 차압 | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | 최대 작동 온도 | 430℃(불활성 기체) | |
13 | 헬륨 누설률 | 1×10-9 atm.cc/초 | |
14 | 표면 마감 | ≤Ra 5μin |